Широкополосные источники излучения Energetiq

20 декабря 2018 г.

 

Американская компания Energetiq Technology, производитель источников излучения с лазерным возбуждением плазмы, стала частью Hamamatsu Photonics. 

Продукцию Energetiq отличает чрезвычайно высокая яркость в УФ, видимом диапазоне и ближнем ИК. Помимо этого, источники излучения Energetiq являются промышленным стандартом в сфере литографии в глубоком ультрафиолете (EUV).

Сочетание инноваций и технологий Hamamatsu, а также глубокое понимание Energetiq физики плазмы, необходимое для создания высокопроизводительных источников излучения, большой опыт в создании надежных продуктов для промышленности и науки, позволит заказчикам получать продукты, отличающиеся высочайшим уровнем производительности и надежности.

Ниже представлена краткая информация о широкополосных источниках излучения:

 

Модель

EQ-99X

EQ-99XFC

EQ-9

EQ-77

EQ-400

Спектральный диапазон

170 нм – 2100 нм

190 нм – 2100 нм

170 нм - 2100 нм

170 нм - 2100 нм

170 нм - 2100 нм

Оптическая мощность

~0.5 Вт

~80 Вт*

~0.5 Вт

~2 Вт

~15 Вт

Спектральная яркость

~10 мВт/мм2 .ср.нм

~60 мкВт/нм*

~10 мВт/мм2 .ср.нм

~40 мВт/мм2.ср.нм

~100мВт/мм2 .ср.нм

Оптический интерфейс

Расходящийся луч для сбора оптикой свободного пространства (резьба SM1), воздушное охлаждение

Стандартный FC-разъем для подключения волокна до 1м длиной

Расходящийся луч. Опциональный двойной вывод

Расходящийся луч. Опциональный двойной вывод

Расходящийся луч. Опциональный двойной вывод

Размер плазмы

101мкм X 182мкм

64мкм X 147мкм

78мкм x 203мкм

126мкм x 318мкм

372мкм x 807мкм

Время наработки

>9000 часов между заменами лампы

Габариты излучателя

82 x 86 x 76 мм

82 x 86 x 76 мм

109 x 120 x 43 мм

128 x 175 x 102 мм

136 x 145 x 56 мм

Масса излучателя

0.7 кг

0.7 кг

0.91 кг

2.2 кг

2.7 кг

Габариты контроллера

113 x 111 x 299 мм

113 x 111 x 299 мм

38 x 197 x 93 мм

152 x 250 x 132 мм

133 x 483 x 584 мм

Масса контроллера

1.4 кг

1.4 кг

0.68 кг

2.9 кг

18.8 кг

Требования к условиям эксплуатации

Охлаждение лампы

Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения

Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения

Вентилятор (0.85 м3/мин  воздушное охлаждение)

≥1 л/мин, 18 – 30 °C, 0.69 МПа макс. давление на входе

>= 1 л/мин, 18 – 30 °C

Охлаждение контроллера

Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения

Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения

Внешнее охлаждение не требуется

Внешнее охлаждение не требуется

3 – 4 л/мин, 18 – 24 °C

Электропитание

12В DC, 140 Вт

12В DC, 140 Вт

12В DC, 140 Вт

12ВDC, 140 Вт

200 – 240 В~, 50/60 Гц, 7A, 1700 Вт макс.

Все данные широкополосные источники излучения используют революционную технологию Energetiq, названную Laser-Driven Light Source (LDLS™) – источник света с лазерным возбуждением плазмы. Она позволяет достигнуть очень высокой яркости в широком спектральном диапазоне, от 170 нм до видимого и далее, в безэлектродном исполнении.

Помимо этого, источники Energetiq отличает очень высокое время наработки, на порядки превышающее показатели традиционных ламп.

На рисунке ниже представлена спектральная зависимость энергетической яркости источников излучения Energetiq в сравнении с традиционными лампами.

Суть безэлектродной технологии LDLS заключается в использовании лазера, работающего в непрерывном режиме, для прямого нагрева ксеноновой плазмы до высоких температур, необходимых для получения достаточно глубокого УФ излучения. В традиционных подходах, для решения таких задач используются лампы с дуговым разрядом и дейтериевые лампы, в которых, использование электродов для передачи мощности плазмы ограничивает яркость, УФ мощность и время жизни лампы.

Ниже, принцип действия источника LDLS приведен в схематичном виде.

Более подробная информация о продукции Energetiq доступна на сайте https://www.energetiq.com/

При возникновении любых вопросов по продукции Energetiq, сотрудники группы Оптоэлектроники ЮЕ-Интернешнл готовы предоставить консультацию, запросы можно отправлять через форму на сайте или иным удобным Вам образом.