Широкополосные источники излучения Energetiq
Американская компания Energetiq Technology, производитель источников излучения с лазерным возбуждением плазмы, стала частью Hamamatsu Photonics. Продукцию Energetiq отличает чрезвычайно высокая яркость в УФ, видимом диапазоне и ближнем ИК. Помимо этого, источники излучения Energetiq являются промышленным стандартом в сфере литографии в глубоком ультрафиолете (EUV). |
|
Сочетание инноваций и технологий Hamamatsu, а также глубокое понимание Energetiq физики плазмы, необходимое для создания высокопроизводительных источников излучения, большой опыт в создании надежных продуктов для промышленности и науки, позволит заказчикам получать продукты, отличающиеся высочайшим уровнем производительности и надежности. Ниже представлена краткая информация о широкополосных источниках излучения: |
Модель |
EQ-99X |
EQ-99XFC |
EQ-9 |
EQ-77 |
EQ-400 |
Спектральный диапазон |
170 нм – 2100 нм |
190 нм – 2100 нм |
170 нм - 2100 нм |
170 нм - 2100 нм |
170 нм - 2100 нм |
Оптическая мощность |
~0.5 Вт |
~80 Вт* |
~0.5 Вт |
~2 Вт |
~15 Вт |
Спектральная яркость |
~10 мВт/мм2 .ср.нм |
~60 мкВт/нм* |
~10 мВт/мм2 .ср.нм |
~40 мВт/мм2.ср.нм |
~100мВт/мм2 .ср.нм |
Оптический интерфейс |
Расходящийся луч для сбора оптикой свободного пространства (резьба SM1), воздушное охлаждение |
Стандартный FC-разъем для подключения волокна до 1м длиной |
Расходящийся луч. Опциональный двойной вывод |
Расходящийся луч. Опциональный двойной вывод |
Расходящийся луч. Опциональный двойной вывод |
Размер плазмы |
101мкм X 182мкм |
64мкм X 147мкм |
78мкм x 203мкм |
126мкм x 318мкм |
372мкм x 807мкм |
Время наработки |
>9000 часов между заменами лампы |
||||
Габариты излучателя |
82 x 86 x 76 мм |
82 x 86 x 76 мм |
109 x 120 x 43 мм |
128 x 175 x 102 мм |
136 x 145 x 56 мм |
Масса излучателя |
0.7 кг |
0.7 кг |
0.91 кг |
2.2 кг |
2.7 кг |
Габариты контроллера |
113 x 111 x 299 мм |
113 x 111 x 299 мм |
38 x 197 x 93 мм |
152 x 250 x 132 мм |
133 x 483 x 584 мм |
Масса контроллера |
1.4 кг |
1.4 кг |
0.68 кг |
2.9 кг |
18.8 кг |
Требования к условиям эксплуатации |
|||||
Охлаждение лампы |
Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения |
Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения |
Вентилятор (0.85 м3/мин воздушное охлаждение) |
≥1 л/мин, 18 – 30 °C, 0.69 МПа макс. давление на входе |
>= 1 л/мин, 18 – 30 °C |
Охлаждение контроллера |
Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения |
Естественная конвекция и внутренний вентилятор, без доп. охлаждения |
Внешнее охлаждение не требуется |
Внешнее охлаждение не требуется |
3 – 4 л/мин, 18 – 24 °C |
Электропитание |
12В DC, 140 Вт |
12В DC, 140 Вт |
12В DC, 140 Вт |
12ВDC, 140 Вт |
200 – 240 В~, 50/60 Гц, 7A, 1700 Вт макс. |
Все данные широкополосные источники излучения используют революционную технологию Energetiq, названную Laser-Driven Light Source (LDLS™) – источник света с лазерным возбуждением плазмы. Она позволяет достигнуть очень высокой яркости в широком спектральном диапазоне, от 170 нм до видимого и далее, в безэлектродном исполнении.
Помимо этого, источники Energetiq отличает очень высокое время наработки, на порядки превышающее показатели традиционных ламп.
На рисунке ниже представлена спектральная зависимость энергетической яркости источников излучения Energetiq в сравнении с традиционными лампами.
Суть безэлектродной технологии LDLS заключается в использовании лазера, работающего в непрерывном режиме, для прямого нагрева ксеноновой плазмы до высоких температур, необходимых для получения достаточно глубокого УФ излучения. В традиционных подходах, для решения таких задач используются лампы с дуговым разрядом и дейтериевые лампы, в которых, использование электродов для передачи мощности плазмы ограничивает яркость, УФ мощность и время жизни лампы.
Ниже, принцип действия источника LDLS приведен в схематичном виде.
Более подробная информация о продукции Energetiq доступна на сайте https://www.energetiq.com/
При возникновении любых вопросов по продукции Energetiq, сотрудники группы Оптоэлектроники ЮЕ-Интернешнл готовы предоставить консультацию, запросы можно отправлять через форму на сайте или иным удобным Вам образом.